技术特点

• 支持8''—110''幅面
• 3D矢量设计数据向微结构形貌转化先进算法与软件
• 海量数据文件实时处理/传输/同步写入快速光刻
• 大面积衬底实时三维导航自聚焦功能，双驱动龙门构架精密控制技术
• 支持多格式2D、3D模型数据文件